http://ir-heat-zone.com/de/tags/backen/ Recent content in Backen on Infrared Heating Zone Solutions Hugo de Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/de/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/de/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Lampe zur Trocknung des Photoresists für eine gleichmäßige Verteilung"></p> <p>Während des Trocknungsprozesses wird die Profilierung des Fotolacks bereits in der ersten Trockenungsphase festgelegt. Eine Temperaturabweichung von 5 °C auf der Waferoberfläche führt zu Unebenheiten im Profil des Fotolacks, beeinträchtigt die Qualität des Ergebnisses und verursacht kostspielige Nacharbeiten. Wir haben daher eine spezielle Lampe entwickelt, die für eine gleichmäßige Trocknung des Fotolacks sorgt und somit diese Unsicherheiten beseitigt.</p> <p><strong>Was <a href="https://goldisgood.com">technisch</a> wichtig ist:</strong><br> Wir verwenden Kurzwellenhalogenlampen in einer Reflektorstruktur, die eine Temperaturgeräuschheit von ±0,1 °C gewährleistet. Die integrierte Pyrometrie ermöglicht es, die Temperatur in Millisekunden genau zu steuern – dadurch bleiben die Temperaturen während des Trocknungsprozesses konstant. Der Lampenkopf ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet; außerdem werden Materialien verwendet, die kaum Gase abgeben und keine Partikel erzeugen. Die Kohlenstofffaserverstärkung sorgt dafür, dass die Wärmeenergie gering bleibt und die Temperatur schnell stabilisiert wird. Die Quarzkapsel kann wiederholten thermischen Belastungen standhalten. Man kann mit mehr als 5.000 Betriebsstunden bei weniger als 5 % Leistungsabfall rechnen.</p>