http://ir-heat-zone.com/de/tags/cmp/ Recent content in CMP on Infrared Heating Zone Solutions Hugo de Sat, 20 Jun 2026 05:44:40 +0800 http://ir-heat-zone.com/de/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:44:40 +0800 http://ir-heat-zone.com/de/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Heizgerät zum Trocknen der CMP Wafer nach dem Verfahren"></p> <p>In der Fertigungsstätte kann bereits eine einzige Wasserstelle nach dem CMP-Vorgang dazu führen, dass ein Wafer, der die Polierphase überstanden hat, unbrauchbar wird. Das Trocknen der Wafers nach dem CMP-Vorgang ist daher nicht nur empfehlenswert – es ist sogar notwendig.</p> <p>Wenn der Heizer nicht präzise gesteuert wird, entsteht Uneinheitlichkeit in der Temperaturverteilung. Die Oberflächenspannung verursacht Streifen auf der Oberfläche, und diese Defekte wirken sich direkt auf den Lithografieprozess aus. <a href="https://o-yate.net">Unsere</a> Heizer für das Nachtrocknen wurden unter Berücksichtigung dieser Bedingungen entwickelt: Keine Partikelentstehung, thermische Einheitlichkeit von ±0,1°C über die gesamte Fläche des Wafers sowie wiederholbare Ergebnisse von Schicht zu Schicht.</p>