Ersatz on Infrared Heating Zone Solutions

Ersatzheizelement IP65

Fri, 24 Jul 2026 11:54:58 +0800

Sichere Nutzung von Infrarotheizern in feuchten Bereichen
Die Verwendung von Infrarotlampen im Badezimmer oder in einer Dampfkabine ist nur dann sicher, wenn man vorsichtig ist. Wasserdampf kann unbemerkt in die Gehäuse eindringen, was zu Leckströmen führen kann – und schon hat man es mit einem Kurzschluss zu tun.

Um das zu verhindern, nutzen wir Gehäuse mit IP65-Zertifizierung. Doch es geht nicht nur um das Gehäuse selbst – entscheidend ist auch, dass die elektronischen Komponenten vollständig trocken bleiben.

Wo es usually zu Problemen kommt
Die IP65-Zertifizierung ist zwar gut – sie bedeutet, dass das Gerät staubdicht ist und Wasserstrahlen standhalten kann – doch das Gehäuse allein reicht nicht aus. Die eigentlichen Gefahrenzonen sind die Anschlussstellen, an denen die Leitungen mit dem Quarzrohr verbunden sind. Wenn Wasser auf eine unisolierte Basis trifft, entsteht ein direkter Weg zum Chassis – das ist nicht ideal.

Ersatzheizer von Lam Research

Mon, 06 Jul 2026 08:01:39 +0800

Ersetzung des Heizers von Lam Research: Präzise Spektralreinheit durch Infrarotwärme
Wir haben diese Infrarotheizlampe entwickelt, um eine direkte, leistungsstarke Alternative zum Original von Lam Research zu bieten. Die Idee ist einfach: Man erhält dieselbe Spektralqualität und dieselbe thermische Reaktion – ohne die hohen Preise des Originalprodukts. Wenn man für ein bestimmtes Wärmeprofil mehr bezahlen muss, erreicht diese Lampe denselben Leistungsstandard.

Leistung, Spannung und Abmessungen – Für Präzision konzipiert
Es handelt sich um einen Hochleistungsheizelement mit hoher Energiedichte, das speziell für Präzision entwickelt wurde. Es arbeitet bei 400 V und sorgt dafür, dass der Faden intensiv Wärme erzeugt – und das in kompakten Abmessungen.
Die Länge des Rohres beträgt 300 mm, die Leistung 2500 W. Diese Werte sind auf die Geometrie der Kammer abgestimmt. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wärme gleichmäßig auf die Wafer oder Substrate verteilt wird – keine heißen oder kalten Stellen.
Diese hohe Leistungsdichte ermöglicht schnelle Temperaturänderungen. Gleichzeitig belastet sie das System jedoch stark. Der Kompromiss besteht darin, dass das Kühlsystem der Maschine in der Lage sein muss, die Wärme, die von dem 2500-W-Heizer erzeugt wird, zu bewältigen.

Ersatz für Heizplatte Infrarotheizer

Fri, 19 Jun 2026 05:58:29 +0800

Auf der Fertigungsfläche kann bereits eine Abweichung von 0,2 °C im Temperaturbereich dazu führen, dass die Kontrolle über das Profil des Fotolacks gestört wird. Dadurch können auch die Ränder der Schichten beeinträchtigt werden. Wafer verzeihen keine thermischen Schwankungen. Deshalb haben wir Heizelemente im Infrarotbereich entwickelt, die genau auf diese Bedingungen abgestimmt sind: keine Temperaturabweichungen, wiederholbare Heizvorgänge sowie eine Konstruktion, die für Reinräume geeignet ist.

Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Elemente, die die Wärme direkt in die Platte leiten. In der aktiven Zone liegt die Temperaturgleichmäßigkeit bei ±0,1 °C. Von einem Zyklus zum nächsten bleibt die Temperaturstabilität bei ±0,5 °C – dadurch bleiben die Parameter für den Heizvorgang konstant.
Der Heizerkörper besteht aus Quarz und hochwertiger Keramik – es gibt keine freiliegenden organischen Stoffe. Zudem wird durch die Konstruktion die Erzeugung von Partikeln auf ein Minimum reduziert, sodass der Heizer für Bereiche der Klasse 1–100 geeignet ist. Die Steuerung ist stabil und präzise – mit geringer thermischer Trägheit. Das bedeutet, dass sich die Temperatur schnell nach dem Einsetzen des Wafer stabilisiert, wodurch die Leerlaufzeit minimiert wird, ohne dass die Präzision leidet.