Ersatzheizer von Lam Research

Mon, 06 Jul 2026 08:01:39 +0800

Ersetzung des Heizers von Lam Research: Präzise Spektralreinheit durch Infrarotwärme
Wir haben diese Infrarotheizlampe entwickelt, um eine direkte, leistungsstarke Alternative zum Original von Lam Research zu bieten. Die Idee ist einfach: Man erhält dieselbe Spektralqualität und dieselbe thermische Reaktion – ohne die hohen Preise des Originalprodukts. Wenn man für ein bestimmtes Wärmeprofil mehr bezahlen muss, erreicht diese Lampe denselben Leistungsstandard.

Leistung, Spannung und Abmessungen – Für Präzision konzipiert
Es handelt sich um einen Hochleistungsheizelement mit hoher Energiedichte, das speziell für Präzision entwickelt wurde. Es arbeitet bei 400 V und sorgt dafür, dass der Faden intensiv Wärme erzeugt – und das in kompakten Abmessungen.
Die Länge des Rohres beträgt 300 mm, die Leistung 2500 W. Diese Werte sind auf die Geometrie der Kammer abgestimmt. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wärme gleichmäßig auf die Wafer oder Substrate verteilt wird – keine heißen oder kalten Stellen.
Diese hohe Leistungsdichte ermöglicht schnelle Temperaturänderungen. Gleichzeitig belastet sie das System jedoch stark. Der Kompromiss besteht darin, dass das Kühlsystem der Maschine in der Lage sein muss, die Wärme, die von dem 2500-W-Heizer erzeugt wird, zu bewältigen.

Forschung on Infrared Heating Zone Solutions

Ersatzheizer von Lam Research