Präziser Temperatur Photorezystheizer

Wed, 24 Jun 2026 04:03:53 +0800

In der Lithografie-Bereichsanlage reicht bereits eine Temperaturabweichung von 0,5 °C während des Trocknungsprozesses aus, um ganze Chargen von Wafern unbrauchbar zu machen. Der Photolack auf diesen Wafers hat eine sehr begrenzte Toleranz bezüglich der Temperatur – wenn diese Toleranz überschritten wird, verschlechtert sich die Kontrolle über die Breite der Linien auf den Wafers. Deshalb haben wir einen Präzisionsheizer entwickelt, der diese Toleranzen konstant hält – Schicht für Schicht, Zyklus für Zyklus.

Was wirklich wichtig ist:
Der Heizer nutzt kurzwelliges Infrarotlicht sowie eine direkte Heizungsmethode – dadurch bleibt die Temperaturstabilität hoch. Die Gleichmäßigkeit der Temperatur auf den Wafers liegt bei ±0,1 °C, und die Wiederholgenauigkeit beträgt ±0,05 °C von einem Lauf zum nächsten. Die Temperaturänderungen werden auf 2 °C/S kontrolliert, wobei die Abweichung unter 0,2 °C liegt. Dadurch bleiben die Vorgaben für den Trocknungsprozess einhaltbar. Die Kompatibilität mit Reinräumen der Klasse 1–100 wird durch Materialien mit geringer Gasemission sowie durch eine Konstruktion gewährleistet, die Partikelbildung minimiert. Der Heizer arbeitet 24/7 – laut Lebensdauerdaten kann er mehr als 5.000 Stunden lang zuverlässig arbeiten, wobei die Leistung nur um weniger als 5 % abnimmt.

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