Ozonfreie Infrarotlampe

Thu, 23 Jul 2026 11:38:30 +0800

Hören Sie auf, auf Ihren Ofen zu warten – der Vorteil von ozeongefreier IR-Heizung
Wenn Sie immer noch auf die Konvektionsheizung für den Halbleiterbeschichtungsprozess setzen, verbringen Sie im Grunde die Hälfte Ihrer Arbeitszeit damit, einfach nur zu warten.
Stellen Sie sich vor, wie das funktioniert: Zuerst wird die Luft erhitzt – anschließend muss man warten, bis diese Luft das zu behandelnde Material erwärmt hat. Es handelt sich dabei um einen langsamen Prozess, bei dem bei jedem An- und Abkühlschub eine beträchtliche Verzögerung entsteht.
IR-Lampen ändern dieses Szenario komplett. Sie vermeiden den Zwischenschritt vollständig. Anstatt den Raum zu erwärmen, senden sie elektromagnetische Strahlung direkt auf das zu behandelnde Objekt.
Es ist schnell – wirklich schnell.
Die Zeit zur Erwärmung verringert sich dabei von Minuten auf Sekunden. Wenn man eine Maschine mit hoher Produktivität einsetzt, summieren sich diese eingesparten Sekunden. So kann man mehr Wafern pro Schicht bearbeiten – und der Workflow wird endlich effizienter.
Doch bei herkömmlichen Kurzwellenlampen gibt es ein Problem: Sie emittieren meist Strahlungen im Bereich von 185 nm. Dadurch werden Sauerstoffmoleküle beeinflusst, was wiederum zur Bildung von Ozon führt. In einem Reinraum ist Ozon ein Albtraum – es zerstört Oberflächen und beschädigt empfindliche Komponenten.
Deshalb kommen ozeongefreie Lampen ins Spiel. Durch den Einsatz modifizierter Filamente oder spezieller Quarzkatalysatoren können solche schädlichen Wellenlängen blockiert werden. Man erhält somit die benötigte Wärme – ohne die negativen Auswirkungen des Ozons. Zudem muss man keine hohen Kosten für Abgasreiniger aufwenden, um die Luft atembar zu halten.
Ehrlich gesagt: IR-Heizung ist kein „Wundermittel“. Da die Strahlung gerichtet ist, erreicht sie nicht alle Bereiche des zu behandelnden Objekts wie die Luft. Wenn das Objekt eine ungewöhnliche Form hat, entstehen kühle Stellen.
Man kann diese Lampen nicht einfach in eine alte Konvektionsbox stecken und darauf hoffen, dass alles gut geht. Die Anordnung der Lampen sowie der Reflektoren muss genau richtig sein. Wenn der Fokuspunkt nicht korrekt eingestellt ist, wird die Heizung ungleichmäßig sein.
Die Größe der Anlage wird kleiner sein, und die Geschwindigkeit viel höher – doch man muss bei der Anordnung sehr präzise vorgehen. Wenn das richtig gemacht wird, funktioniert alles perfekt.

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