Energiemessung für die Trocknung in der Fabrik

Tue, 21 Jul 2026 09:34:05 +0800

Umgang mit defekten Infrarotlampen bei der Wafer-Trocknung
Seien wir ehrlich: Wenn eine Infrarotlampe in einer Halbleiterfabrik versagt, ist das ein Albtraum. Es geht dabei nicht nur darum, einfach einen Ersatz zu besorgen.
Wenn ein Quarzrohr unter hoher Last platzt, werden die Wafer mit Scherben und Partikeln bedeckt. Dadurch geht die Produktivität verloren – und das Team muss stundenlang damit beschäftigt sein, den Raum sauber zu machen. Das ist eine Situation, mit der niemand umgehen möchte.

Warum platzen diese Rohre eigentlich?
Meistens liegt es am thermischen Schock. Wenn hohe Leistungen ausgeübt werden, entstehen starke Temperaturschwankungen im Quarz. Wenn die Wärme nicht gleichmäßig verteilt wird, sammelt sich Druck an einer Stelle an – bis schließlich ein Riss entsteht.
Um das zu verhindern, verwenden wir hochreinen, gefügten Quarz. Dieser hat einen niedrigen Wärmekoeffizienten – das bedeutet, er kann starken Belastungen standhalten. Selbst bei schnellen Leistungswechseln bricht das Rohr nicht.

Prüfung on Infrared Heating Zone Solutions

Energiemessung für die Trocknung in der Fabrik