Sicherheitsabstand für die Wafererhitzung

Wed, 29 Jul 2026 10:30:11 +0800

Wie man die Wafer während des Heizzyklus sauber hält
Wenn Sie in einem Reinraum der Klasse 100 arbeiten, kennen Sie sicherlich dieses Problem: Schon eine winzige Staubpartikel oder ein wenig Ausgasung können dazu führen, dass die gesamte Produkt Charge unbrauchbar wird.
Das Problem ist, dass herkömmliche IR-Lampen oft mit Bindemitteln oder Beschichtungen versehen sind, die im Laufe der Zeit abplatzen. Sobald diese Lampen thermischen Belastungen ausgesetzt werden, lösen sie Partikel ab – das ist nicht ideal. Deshalb verwenden wir für unsere Lampen hochreinen synthetischen Quarz. Dadurch bleibt die Struktur der Lampe intakt.
Das Geheimnis liegt im Quarz
Wir verwenden einen aus geschmolzenem Silizium bestehenden Behälter, der fast keinerlei Verunreinigungen enthält. Warum? Weil Quarz geringerer Qualität bei erhöhten Temperaturen trüb wird. Durch das Entfernen der metallischen Verunreinigungen stellen wir sicher, dass die Lampe keine Mikropartikel auf die Wafer abgibt, während diese erhitzt werden. So erhalten Sie die benötigte Wärme – und Ihre Wafer bleiben sauber. Einfach so.
Die richtige Entfernung finden
Es ist wichtig, die richtige Entfernung zwischen der Lampe und den Wafern einzuhalten. Zu geringe Entfernung? Dann entstehen Hotspots, die die dünnen Wafer verformen können. Zu große Entfernung? Dann wird die Erwärmungszeit länger, und die Produktivität sinkt. Um dieses Problem zu lösen, gestalten wir unsere Lampen so, dass sie eine hohe Energiedichte behalten – auch dann, wenn sie in sicherer Entfernung vom Wafer positioniert werden.
Dinge, auf die man achten muss
Hochreiner Quarz ist zwar chemisch inert, aber gleichzeitig spröde. Berühren Sie diese Lampen auf keinen Fall mit bloßen Händen! Die Öle in Ihrer Haut erzeugen kleine Spannungspunkte. Wenn die Lampe plötzlich stark erhitzt wird, können diese Spannungspunkte zu Rissen führen – dadurch geht die Lampe viel zu früh kaputt. Dasselbe gilt für die Befestigungshalterungen. Sie müssen frei von Spannungen sein. Wenn der Quarz in einer starren Halterung eingekeilt wird, wird die Lampe sofort brechen, sobald sie sich ausdehnen will. Geben Sie dem Quarz etwas Platz zum Atmen.
Diese Lampen sind dafür konzipiert, einfach als Ersatz für Ihre Heiz- und Trockenanlagen verwendet zu werden. Überprüfen Sie bitte unbedingt, ob die Stromversorgung die erforderliche Leistung liefert – damit der Glühfaden nicht überlastet wird.

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