Doppellampe mit goldbeschichtetem Glas

Fri, 24 Jul 2026 11:47:54 +0800

Warum wir goldbeschichtete Doppelröhren-IR-Lampen für den Trocknungsvorgang von Halbleitern verwenden
Die Welt der Halbleiterbranche strebt nach einem trocknungsprozess ohne Blei und ohne Emissionsverluste. Es handelt sich dabei um ein schwieriges Ziel – doch wir haben eine Lösung gefunden: Wir verwenden goldbeschichtete Doppelröhren-IR-Lampen.

Stellen Sie sich einen herkömmlichen Convektionsofen vor: Er erwärmt die Luft, die anschließend das zu trocknende Teil erwärmt. Das ist ein langsamer Prozess – außerdem werden oft chemische Lösungsmittel oder starke Lüfter benötigt, um die Luft in Bewegung zu halten. Diese IR-Lampen sind anders: Sie leiten die Energie direkt auf das zu trocknende Teil ab. Keine Zwischenmittel, keine zusätzlichen Chemikalien – nur direkte Wärme.

Doppelrohr Infrarotheizlampe

Thu, 18 Jun 2026 04:15:58 +0800

In der Lithografiebeschichtung führt bereits eine leichte Temperaturänderung von einem halben Grad bei einer Temperatur von 95°C dazu, dass die Kontrolle der kritischen Dimensionen gestört wird. Dadurch entstehen nach der Entwicklung Unreinheiten auf der Waferoberfläche. Die Doppelrohr-Infrarotheizlampe ist die ideale Lösung für dieses Problem. Sie strahlt schnelles Wärmeenergie auf den Wafer ab und sorgt so für eine konstante Temperatur – dadurch verhält sich der Photoresist in jeder Charge gleich.

Was wirklich wichtig ist
Die Lampe nutzt Kurzwellen-Infrarotelemente in einem Doppelrohr-Design. Dadurch entsteht eine hohe Strahlungsintensität sowie eine schnelle Reaktionszeit auf Temperaturschwankungen. Die Lampe sorgt dafür, dass die Temperatur auf dem Wafer innerhalb von ±0,1°C konstant bleibt – auch während des Weich- und Hartbrennvorgangs. Es kommt zu keiner Überhitzung, und es wird kein Energieverbrauch verschwendet. Zudem ist die Lampe für saubere Umgebungen geeignet: Das Quarzkerngehäuse sowie die keramischen Endkappen verhindern die Entstehung von Partikeln. Somit eignet sich die Lampe hervorragend für Bereiche der Klasse 1–100. Die Leistung bleibt über 5.000 Stunden hinweg konstant – mit weniger als 5% Intensitätsabfall. Das bedeutet weniger Kalibrierungen und einfacheres Prozessmanagement.

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Doppellampe mit goldbeschichtetem Glas

Doppelrohr Infrarotheizlampe