Cuando se secan las obleas de sensores MEMS después de un proceso de limpieza química, se necesita calor… y rápido. Pero aquí está el problema: hacerlo en presencia de solventes inflamables es como jugar con fuego. No de forma metafórica, sino de verdad: podría ocurrir una explosión en cualquier momento.
Por eso utilizamos lámparas infrarrojas especializadas. Estas lámparas logran su objetivo sin convertir el área de trabajo en una zona peligrosa.
Mantener todo sellado
Las lámparas infrarrojas convencionales tienen elementos abiertos. En una habitación llena de vapores químicos volátiles, eso representa un gran riesgo. Una chispa o un elemento sobrecalentado pueden causar un desastre.
Para evitar esto, colocamos las lámparas dentro de un revestimiento de cuarzo o acero inoxidable resistente. Pensemos en ello como un escudo físico. Utilizamos juntas térmicas y sellos herméticos para asegurar que los vapores no lleguen a los componentes electrónicos y que no haya fugas de calor que puedan crear puntos calientes peligrosos en la carcasa. Todo esto sirve para garantizar la seguridad.
Controlar la temperatura adecuadamente
No se puede simplemente calentar estas obleas; de lo contrario, se deformarán. Equilibramos cuidadosamente la relación entre la potencia y la longitud de las obleas para mantenerlas estables. Al utilizar luz infrarroja de onda corta, el calor penetra directamente a través de la capa líquida en la superficie de la oblea. Es rápido y eficiente. Esto significa que las obleas pasan mucho menos tiempo en la zona peligrosa.
Pero no basta con “configurar todo y dejarlo así”. Se necesita un controlador PID de acción rápida. Si el flujo de aire disminuye o el transportador se detiene, estas lámparas deben apagarse instantáneamente. De lo contrario, las obleas se dañarán, o peor aún, la carcasa podría dañarse.
La realidad del diseño
Nada es perfecto. Ese revestimiento sellado es ideal para la seguridad, pero también añade masa térmica. ¿Qué significa eso? El tiempo necesario para alcanzar la temperatura deseada será un poco más largo que con una lámpara convencional. Simplemente hay que tener en cuenta ese pequeño retraso en el proceso.
Un último consejo: preste atención al aislamiento de los cables. Algunas fuentes de poder infrarrojas utilizan conmutación de alta frecuencia, lo que puede causar interferencias en los equipos de sensores MEMS. Un buen sistema de tierra es muy importante en este caso.