Módulo on Infrared Heating Zone Solutions

Módulo de calefacción por infrarrojos zonado

Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800

En el área de litografía, una diferencia de temperatura de 1°C en la oblea puede hacer que el ancho de las líneas cambie en nanómetros. Además, la presencia de partículas pueden arruinar grandes cantidades de productos. Por eso se diseñó el módulo de calefacción por infrarrojos zonal para mantener el comportamiento térmico dentro de los límites adecuados.

Lo que es importante desde el punto de vista técnico Los emisores de infrarrojos de onda corta están dispuestos en zonas controladas de forma independiente, lo que permite ajustar la temperatura según las características de la oblea. En toda la superficie de procesamiento, la uniformidad de temperatura se mantiene dentro de un rango de ±0.1°C. El proceso de secado del fotoreactivo se vuelve más predecible: tanto el secado suave como el duro se realizan con un control térmico más preciso, y se reduce la pérdida de precisión debido a las fluctuaciones térmicas. El hardware es compatible con salas limpias de nivel 1 a 100, y está diseñado para evitar cualquier tipo de partícula. La fiabilidad del equipo se mide, no se promete: funcionamiento 24/7 sin interrupciones no planificadas, y la vida útil de los emisores se monitorea para que los tiempos de mantenimiento sean predecibles.

Módulo de secado por infrarrojos para fotoresistencias

Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800

En el área de litografía, un desvío de medio grado en el horneado suave del fotoresistente es suficiente para sacar el control de dimensiones críticas (CD) fuera de especificación. Los obleas se acumulan, el desecho aumenta y la línea paga por la inconsistencia térmica. Construimos nuestro módulo de secado de fotoresistentes por infrarrojos para eliminar esa incertidumbre en el secado de obleas, horneado suave y horneado duro.

Lo que importa bajo el capó
Operamos con infrarrojos de onda corta con un emisor de halógeno de cuarzo, vertiendo energía directamente en la capa de fotoresistente. El módulo mantiene la uniformidad de temperatura a nivel de oblea en ±0.1°C a través de la cara de horneado, de modo que cada sitio recibe el mismo presupuesto térmico. La compatibilidad con sala limpia de Clase 1–100 proviene de una cámara controlada por partículas y materiales de baja emisión de gases. La generación de partículas cero no es un lema, se garantiza mediante el diseño de flujo de aire y un acabado superficial que cumple con los estándares de contaminación en semiconductores. La repetibilidad se asegura con pirometría de lazo cerrado y control basado en recetas que mantiene el aumento, la inmersión y el enfriamiento con estabilidad de subsegundos.