http://ir-heat-zone.com/fa/tags/%D9%81%D9%88%D8%AA%D9%88%D8%B1%D8%B2%DB%8C%D8%B3%D8%AA/ Recent content in فوتورزیست on Infrared Heating Zone Solutions Hugo fa Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/fa/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/fa/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="لامپ پخت فوتورزیست یکنواختی"></p> <p>در مرحله اول، پروفایل فوتورزیست در حین فرآیند خشک کردن تنظیم می‌شود. تغییر دما به میزان ۵ درجه سانتی‌گراد در سطح ویفر، باعث اختلال در کیفیت تولید می‌شود؛ همچنین منجر به هدر رفتن منابع گران‌قیمت برای تعمیرات می‌گردد. ما لامپ‌های خاصی را طراحی کرده‌ایم تا این نوسانات را از بین ببرند.</p> <p><strong>نکات فنی مهم:</strong><br> ما از لامپ‌های هالوژنی با أمواج کوتاه استفاده می‌کنیم؛ این لامپ‌ها در یک حفره بازتابنده قرار دارند و به این ترتیب امکان دستیابی به یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتی‌گراد فراهم می‌شود. سیستم پیرومتری نیز به سرعت دما را کنترل کرده و امکان حفظ دمای مناسب در طول فرآیند را فراهم می‌کند. سر لامپ نیز با شرایط اتاق‌های پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین از موادی استفاده شده که گاز کمی تولید می‌کنند و جرم ذرات نیز صفر است. عایق‌بندی از الیاف کربنی، باعث کاهش جرم حرارتی و تثبیت سریع دما می‌شود؛ همچنین پوشش کوارتزی لامپ نیز در برابر چرخه‌های حرارتی مکرر مقاومت می‌کند. انتظار می‌رود که این لامپ بتواند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کند، با کاهش کمتر از ۵٪ در کارایی.</p> http://ir-heat-zone.com/fa/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ Wed, 24 Jun 2026 04:03:53 +0800 http://ir-heat-zone.com/fa/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="گرمکن فوتورزیست با دقت دمایی بالا"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دمای حدود ۰.۵ درجه سانتی‌گراد در دمای پخت، می‌تواند باعث از بین رفتن کل محصولات تولید شده شود. فوتورزیست موجود روی ویفرها، دارای محدودیت‌های گرمایی خاصی است؛ اگر این محدودیت‌ها نقض شوند، کنترل عرض خطوط روی ویفرها از بین می‌رود. ما یک هیتر با دقت بالا طراحی کرده‌ایم تا این محدودیت‌ها رعایت شوند؛ چه در هر شیفت و چه در هر چرخه تولید.</p> <p><strong>چه چیزهایی اهمیت دارند؟</strong><br> این هیتر از امواج مادون قرمز کوتاه برای گرم کردن استفاده می‌کند؛ بنابراین تأخیر گرمایی کم است. یکنواختی دما در سراسر ویفر حدود ±۰.۱ درجه سانتی‌گراد است، و تکرارپذیری عملکرد آن نیز در حدود ±۰.۰۵ درجه سانتی‌گراد است. سرعت تغییر دما نیز کنترل شده و در حدود ۲ درجه سانتی‌گراد بر ثانیه است؛ این امر باعث می‌شود فرآیند پخت دقیقاً مطابق با استانداردها انجام شود. سازگاری این هیتر با محیط‌های تمیز در کلاس ۱ تا ۱۰۰ نیز فراهم است؛ زیرا از موادی با تولید گاز کم استفاده شده است و طراحی آن نیز باعث کاهش تعداد ذرات موجود در محیط می‌شود. این هیتر ۲۴/۷ کار می‌کند؛ داده‌های مربوط به عمر آن نشان می‌دهد که می‌تواند بیش از ۵٬۰۰۰ ساعت کار کند، بدون اینکه شدت گرمایش آن بیش از ۵ درصد تغییر کند.</p>