http://ir-heat-zone.com/fa/tags/%D9%85%D9%86%D8%B7%D9%82%D9%87%D8%A8%D9%86%D8%AF%DB%8C%D8%B4%D8%AF%D9%87/ Recent content in منطقهبندیشده on Infrared Heating Zone Solutions Hugo fa Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/fa/posts/zoned-infrared-heating-module/ Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/fa/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ماژول گرمایش مادون قرمز با مناطق تعیینشده"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۱ درجه سانتی‌گراد می‌تواند باعث تغییر عرض خطوط روی ویفر شود؛ همچنین، وجود ذرات ناخواسته می‌تواند منجر به از بین رفتن بخش زیادی از محصول شود. به همین دلیل، ماژول گرمایش مادون قرمز با ساختار منطقه‌ای طراحی شده است تا رفتار حرارتی در محدوده مورد نظر باقی بماند.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟</strong> فرستنده‌های مادون قرمز کوتاه‌اموج در مناطق کنترل‌شده به صورت جداگانه قرار گرفته‌اند؛ بنابراین می‌توان دما را طوری تنظیم کرد که متناسب با الگوی ویفر باشد. در سراسر سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰٫۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند. فرآیند پخت فوتورزیست نیز قابل تکرار می‌شود؛ همچنین، از دست رفتن ابعاد کلیدی ناشی از تغییرات حرارتی کاهش می‌یابد. این ماژول سازگار با محیط‌های تمیز از کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، طوری طراحی شده که میزان ذرات ناخواسته صفر باقی بماند. قابلیت اطمینان این ماژول از طریق اندازه‌گیری‌ها مشخص می‌شود؛ عملکرد آن ۲۴/۷ بدون هیچ توقف غیرمنتظره‌ای است؛ همچنین، طول عمر فرستنده‌ها نیز زیر نظر گرفته می‌شود تا زمان تعمیرات قابل پیش‌بینی باشد.</p>