http://ir-heat-zone.com/fa/tags/bake/ Recent content in Bake on Infrared Heating Zone Solutions Hugo fa Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/fa/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/fa/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="لامپ پخت فوتورزیست یکنواختی"></p> <p>در مرحله اول، پروفایل فوتورزیست در حین فرآیند خشک کردن تنظیم می‌شود. تغییر دما به میزان ۵ درجه سانتی‌گراد در سطح ویفر، باعث اختلال در کیفیت تولید می‌شود؛ همچنین منجر به هدر رفتن منابع گران‌قیمت برای تعمیرات می‌گردد. ما لامپ‌های خاصی را طراحی کرده‌ایم تا این نوسانات را از بین ببرند.</p> <p><strong>نکات فنی مهم:</strong><br> ما از لامپ‌های هالوژنی با أمواج کوتاه استفاده می‌کنیم؛ این لامپ‌ها در یک حفره بازتابنده قرار دارند و به این ترتیب امکان دستیابی به یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتی‌گراد فراهم می‌شود. سیستم پیرومتری نیز به سرعت دما را کنترل کرده و امکان حفظ دمای مناسب در طول فرآیند را فراهم می‌کند. سر لامپ نیز با شرایط اتاق‌های پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین از موادی استفاده شده که گاز کمی تولید می‌کنند و جرم ذرات نیز صفر است. عایق‌بندی از الیاف کربنی، باعث کاهش جرم حرارتی و تثبیت سریع دما می‌شود؛ همچنین پوشش کوارتزی لامپ نیز در برابر چرخه‌های حرارتی مکرر مقاومت می‌کند. انتظار می‌رود که این لامپ بتواند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کند، با کاهش کمتر از ۵٪ در کارایی.</p>