http://ir-heat-zone.com/fa/tags/module/ Recent content in Module on Infrared Heating Zone Solutions Hugo fa Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/fa/posts/zoned-infrared-heating-module/ Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/fa/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ماژول گرمایش مادون قرمز با مناطق تعیینشده"></p> <p>در فرآیند لیتوگرافی، تغییر دما در حد ۱ درجه سانتی‌گراد می‌تواند باعث تغییر عرض خطوط روی ویفر شود؛ همچنین، وجود ذرات ناخواسته می‌تواند منجر به از بین رفتن بخش زیادی از محصول شود. به همین دلیل، ماژول گرمایش مادون قرمز با ساختار منطقه‌ای طراحی شده است تا رفتار حرارتی در محدوده مورد نظر باقی بماند.</p> <p><strong>از نظر فنی، چه چیزهایی اهمیت دارد؟</strong> فرستنده‌های مادون قرمز کوتاه‌اموج در مناطق کنترل‌شده به صورت جداگانه قرار گرفته‌اند؛ بنابراین می‌توان دما را طوری تنظیم کرد که متناسب با الگوی ویفر باشد. در سراسر سطح ویفر، یکنواختی دما در حد ±۰٫۱ درجه سانتی‌گراد باقی می‌ماند. فرآیند پخت فوتورزیست نیز قابل تکرار می‌شود؛ همچنین، از دست رفتن ابعاد کلیدی ناشی از تغییرات حرارتی کاهش می‌یابد. این ماژول سازگار با محیط‌های تمیز از کلاس ۱ تا ۱۰۰ است؛ همچنین، طوری طراحی شده که میزان ذرات ناخواسته صفر باقی بماند. قابلیت اطمینان این ماژول از طریق اندازه‌گیری‌ها مشخص می‌شود؛ عملکرد آن ۲۴/۷ بدون هیچ توقف غیرمنتظره‌ای است؛ همچنین، طول عمر فرستنده‌ها نیز زیر نظر گرفته می‌شود تا زمان تعمیرات قابل پیش‌بینی باشد.</p> http://ir-heat-zone.com/fa/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800 http://ir-heat-zone.com/fa/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="ماژول مادون قرمز خشککردن فوتورزیست"></p> <p>در سالن لیتوگرافی، انحراف نیم درجه‌ای در نرم‌پخت (soft bake) رزین حساس به نور کافی است تا کنترل ابعاد بحرانی (CD) را خارج از محدوده مشخصات نگه دارد. ویفرها متوقف می‌شوند، ضایعات افزایش می‌یابد و خط تولید هزینه نوسانات حرارتی را متحمل می‌شود. ما ماژول مادون قرمز خشک‌کردن رزین حساس به نور خود را طراحی کردیم تا این عدم قطعیت در خشک‌کردن ویفر، نرم‌پخت و سخت‌پخت را حذف کنیم.</p> <p><strong>آنچه زیر کاپوت اهمیت دارد</strong></p> <p>ما از مادون قرمز موج کوتاه با یک تابش‌دهنده کوارتز-هالوژن استفاده می‌کنیم که انرژی را مستقیم به لایه رزین حساس به نور می‌تاباند. این ماژول یکنواختی دمایی در سطح ویفر را در ±0.1°C روی سطح پخت حفظ می‌کند، بنابراین هر نقطه همان بودجه حرارتی را دریافت می‌کند. سازگاری با کلاس تمیزی ۱–۱۰۰ از طریق محفظه کنترل‌شده ذرات و مواد کم انتشار حاصل می‌شود. صفر تولید ذره صرفاً شعار نیست—بلکه توسط طراحی جریان هوا و پرداخت سطحی که استانداردهای آلودگی نیمه‌رسانا را رعایت می‌کند تضمین می‌شود. تکرارپذیری با پایرومتری حلقه بسته و کنترل مبتنی بر دستورالعمل که شیب دما، نگهداشت و خنک‌سازی را با پایداری کمتر از یک ثانیه حفظ می‌کند، تثبیت شده است.</p>