Lors du premier séchage, le profil du photorésiste est défini. Une variation de 5 °C sur toute la surface de la puce peut entraîner des écarts dans les paramètres CD, endommager la couche de photorésiste, et entraîner des coûts supplémentaires liés aux réparations. Nous avons conçu une lampe de séchage spéciale pour assurer une uniformité parfaite du photorésiste.
Ce qui est important du point de vue technique Nous utilisons des lampes halogènes à ondes courtes, placées dans une cavité réfléchissante, afin d’obtenir une uniformité de ±0,1 °C sur toute la surface de la puce. La pyrométrie intégrée permet de contrôler en temps réel les températures de séchage, avec une grande précision. La tête de la lampe est conçue pour fonctionner dans des environnements stériles de classe 1–100, avec des matériaux émettant peu de gaz et sans génération de particules. L’isolation en fibres de carbone permet de maintenir une faible masse thermique, ce qui favorise une stabilité rapide de la température. L’enveloppe en quartz résiste aux cycles thermiques répétés. On peut donc s’attendre à une durée de vie de plus de 5 000 heures, avec une baisse de performance inférieure à 5 %.
Pourquoi cela fonctionne bien ici Cette unité permet de sécher les puces, de faire sécher le photorésiste, de cuire les composants et de nettoyer les puces, sans avoir besoin de changer d’équipement. Une uniformité parfaite réduit les défauts aux bords de la puce et améliore le taux de réussite du processus. Le temps de séchage est réduit, ce qui diminue la consommation d’énergie et augmente la productivité. Les marges de manœuvre du processus s’élargissent, car le budget thermique est bien contrôlé, plutôt qu’estimé.
Points importants à connaître La lampe est compatible avec les interfaces standard, mais la géométrie du réflecteur doit correspondre à la taille de la puce et au profil du support de celle-ci. Un temps d’adaptation court est nécessaire pour ajuster les paramètres PID et vérifier la distribution de la température aux différents points du processus. Un fonctionnement proche de la limite thermique maximale du quartz abrège sa durée de vie ; nous recommandons donc de ne pas dépasser 650 °C pour assurer une fiabilité optimale.