Lampe de cuisson du photorésistant pour l uniformité

Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800

Lors du premier séchage, le profil du photorésiste est défini. Une variation de 5 °C sur toute la surface de la puce peut entraîner des écarts dans les paramètres CD, endommager la couche de photorésiste, et entraîner des coûts supplémentaires liés aux réparations. Nous avons conçu une lampe de séchage spéciale pour assurer une uniformité parfaite du photorésiste.

Ce qui est important du point de vue technique Nous utilisons des lampes halogènes à ondes courtes, placées dans une cavité réfléchissante, afin d’obtenir une uniformité de ±0,1 °C sur toute la surface de la puce. La pyrométrie intégrée permet de contrôler en temps réel les températures de séchage, avec une grande précision. La tête de la lampe est conçue pour fonctionner dans des environnements stériles de classe 1–100, avec des matériaux émettant peu de gaz et sans génération de particules. L’isolation en fibres de carbone permet de maintenir une faible masse thermique, ce qui favorise une stabilité rapide de la température. L’enveloppe en quartz résiste aux cycles thermiques répétés. On peut donc s’attendre à une durée de vie de plus de 5 000 heures, avec une baisse de performance inférieure à 5 %.

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Lampe de cuisson du photorésistant pour l uniformité