http://ir-heat-zone.com/fr/tags/ouverture/ Recent content in Ouverture on Infrared Heating Zone Solutions Hugo fr Tue, 02 Jun 2026 06:06:33 +0800 http://ir-heat-zone.com/fr/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Tue, 02 Jun 2026 06:06:33 +0800 http://ir-heat-zone.com/fr/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Sécheur FOUP (boîtier unifié à ouverture frontale)"></p> <p>Sur le plan lithographique, l’erreur thermique laisse peu de marge de manœuvre. Un FOUP qui retient l’humidité ou qui présente une zone <a href="https://o-yate.net">chaude</a> dans un coin et une zone froide dans un autre pousse le photoresist au-delà de son budget thermique. Ce n’est pas visible au niveau du coatteur — c’est plus tard que cela se manifeste par des écarts de largeur de ligne et des scums. Nous avons conçu le sécheur FOUP pour éliminer cette variabilité, afin que la fenêtre de procédé reste là où elle doit être : sur la plaquette.</p>