Distance de sécurité pour le chauffage de la wafer

Wed, 29 Jul 2026 10:30:11 +0800

Comment maintenir vos wafers impeccables pendant le processus de chauffage
Si vous travaillez dans une salle propre de Classe 100, vous connaissez bien ce problème : un seul grain de poussière ou une légère émission de gaz peut ruiner toute votre production.
Le problème est que les lampes IR standards sont souvent assemblées à l’aide de liants ou de revêtements qui se désagrègent avec le temps. Une fois soumises aux cycles thermiques, ces lampes libèrent des particules. Ce n’est pas bon. C’est pourquoi nous utilisons du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes. Il reste en place, sans se détériorer.
Le secret réside dans le quartz
Nous utilisons un enveloppement en silice fusionnée, presque dépourvu d’impuretés. Pourquoi ? Parce que le quartz de moindre qualité a tendance à devenir trouble lorsqu’il est chauffé. En éliminant les impuretés métalliques, nous garantissons que la lampe ne libérera pas de micro-particules sur les wafers pendant le processus de chauffage. Vous obtenez ainsi la chaleur nécessaire, tout en maintenant vos substrats propres. C’est simple.
Trouver la bonne distance entre la lampe et le wafer
Il faut trouver le bon équilibre entre la distance entre la lampe et le wafer. Trop proche ? Des points chauds peuvent endommager les wafers fins. Trop loin ? Le temps de chauffage s’allonge, et la productivité diminue. C’est frustrant. Pour y remédier, nous concevons nos lampes pour qu’elles émettent des ondes à courte longueur d’onde. Ainsi, vous conservez une haute densité d’énergie, même lorsque vous éloignez la lampe.
Quelques choses à considérer
Le quartz de haute pureté est chimiquement inerte, mais il est fragile. Veuillez ne pas toucher ces tubes avec vos mains nues. Les huiles présentes sur votre peau créent des points de pression qui peuvent provoquer des fissures dans le tube. Lorsque la lampe subit des cycles de chauffage rapides, ces fissures se développent, et la lampe s’use prématurément. Il en va de même pour les supports de fixation. Ils doivent être exempt de toute contrainte. Si vous serrez trop fort le quartz, le tube se brisera dès qu’il tentera de se dilater. Laissez-lui donc de l’espace pour respirer.
Ces lampes sont conçues pour être remplacées facilement dans vos lignes de fabrication. Assurez-vous simplement que votre alimentation électrique correspond à la puissance requise, afin de ne pas surcharger le filament.

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