מנורת אפייה לחומרי פוטורזיסט בעלי אחידות

בשלב זה, מתקבעת פרופיל הפוטורזיסט במהלך החימום הראשון. שינוי של 5°C בטמפרטורה על פני הוופר עלול לגרום לשינוי ב-CD, לפגיעה באיכות החיבורים בין השכבות...