http://ir-heat-zone.com/he/tags/%D7%9E%D7%90%D7%95%D7%92%D7%93%D7%99%D7%9D-%D7%9C%D7%90%D7%96%D7%95%D7%A8%D7%99%D7%9D/ Recent content in מאוגדים לאזורים on Infrared Heating Zone Solutions Hugo he Mon, 29 Jun 2026 07:01:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/he/posts/zoned-infrared-heating-module/ Mon, 29 Jun 2026 07:01:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/he/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="מודול חימום באינפרא אדום בעל אזורי חימום מוגדרים"></p> <p>במסגרת תהליך הליתוגרפיה, שינוי של 1 מעלה צלזיוס בטמפרטורה של הציליד יכול לגרום לשינוי ברוחב הקווים ברמה של ננומטרים; בנוסף, עלייה פתאומית ברמת החלקיקים יכולה לפגוע בכמות גדולה של מוצרים. לכן, פותח מודול חימום באינפרא-אדום שמאפשר שליטה בטמפרטורה בתוך הטווח האופטימלי.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> גופי הפליטה בגלי אינפרא-אדום נמצאים באזורים שניתן לשלוט בהם באופן נפרד, כך שניתן לשלוט בטמפרטורה בהתאם למבנה הציליד. בכל שטח הציליד, האחידות של הטמפרטורה נשמרת בטווח של ±0.1 מעלות צלזיוס. תהליך החימום של הפוטורזיסט הופך לחזרתי – ניתן לשלוט בטמפרטורה בצורה מדויקת, וכך נמנעת אובדן ברזולוציה עקב שינויי טמפרטורה. החומרים שמרכיבים את המודול מתאימים לשימוש בחדרים נקיים מסוג 1–100, והמודול מיועד לשמירה על רמת חלקיקים נמוכה. האמינות של המודול נמדדת, אך אינה מובטחת – המודול יכול לפעול 24/7 ללא הפסקות, וחיי השירות שלו נמדדים כדי שניתן יהיה לחזות את הביצועים שלו.</p>