פוטורזיסט on Infrared Heating Zone Solutions

מנורת אפייה לחומרי פוטורזיסט בעלי אחידות

Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800

בשלב זה, מתקבעת פרופיל הפוטורזיסט במהלך החימום הראשון. שינוי של 5°C בטמפרטורה על פני הוופר עלול לגרום לשינוי ב-CD, לפגיעה באיכות החיבורים בין השכבות השונות, ולבזבוז של זמן וחומרים יקרים. אנו פיתחנו מנורות חימום שמבטיחות אחידות בטמפרטורה, כדי לוודא שלא יהיו שינויים לא רצויים.

מה חשוב מבחינה טכנית? אנו משתמשים במנורות הלוגן בעלות גל ארוך, המותקנות בתוך חלל מחזיר אור, כך שניתן לשמור על אחידות של ±0.1°C בטמפרטורה על פני הוופר. שימוש בטכנולוגיית פיורומטריה מאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה, וכך ניתן לשמור על טמפרטורות קבועות במהלך תהליך החימום. ראש המנורה מתאים לחדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100, והוא עשוי מחומרים שאינם פולטים גזים, ואינם יוצרים חלקיקים במהלך השימוש. הבידוד בדמות סיבי פחמן מונע אגירת חום, ומאפשר יציבות טמפרטורה מהירה. ניתן לצפות לעבודה של 5,000 שעות ברצף, עם ירידה של פחות מ-5% בביצועים.

מחמם פוטורזיסטנטי בעל דיוק גבוה לשליטה בטמפרטורה

Wed, 24 Jun 2026 04:03:53 +0800

בתהליך הליתוגרפיה, שינוי של 0.5°C בטמפרטורת החימום עלול לגרום לכך שכל המוצרים שנוצרו יהיו לא תקינים. הפוטורזיסט שנמצא על הוואפרים דורש פיקוח קפדני על הטמפרטורה; אם לא נשמור על רמה זו, ייפגע שליטת העובי של הקווים. ייצרנו מחמם בעל דיוק גבוה כדי לשמור על רמת הטמפרטורה הנדרשת – שעה אחר שעה, מחזור אחר מחזור.

מה חשוב באמת? המחמם משתמש בקרינת אינפרא-אדום באורך גל קצר, כך שהעיכוב התרמי נשאר נמוך. האחידות בטמפרטורה על פני הוואפרים נשמרת בטווח של ±0.1°C, והחזריות של התהליך נשמרת בטווח של ±0.05°C מרוץ לרוץ. שינויי הטמפרטורה נשלטים בקצב של 2°C/שנייה, עם סטייה של פחות מ-0.2°C – דבר שמבטיח שהתהליך יתנהל כפי שתוכנן. המחמם תואם לתנאי חדר נקי מסוג 1–100, בזכות שימוש בחומרים עם פליטת גזים נמוכה ועיצוב שמונע היווצרות של частицות. המחמם פועל 24/7, ונתוני השימוש מראים שהוא יכול לעבוד יותר מ-5,000 שעות ברצף, עם סטייה של פחות מ-5% בעוצמת החימום.

מודול אינפרא אדום ליבוש פולימר פוטו רעיל

Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800

בקומת הליתוגרפיה, סטייה של חצי מעלות בתהליך האפייה הרכה של הפוטורסיסט מספיקה כדי לדחוף את בקרת המידות הקריטיות (CD) מחוץ למפרט. הפלטות מצטברות, פסולת עולה, והקו משלם על חוסר עקביות תרמית. בנינו את מודול הייבוש באינפרא אדום לפוטורסיסט שלנו כדי להוציא את חוסר הוודאות מייבוש הפלטות, אפייה רכה ואפייה קשה.
מה שחשוב מתחת למכסה
אנו מפעילים אינפרא אדום קצר עם מפיץ קוורץ-הלוגן, זורקים אנרגיה ישירות לתוך שכבת הפוטורסיסט. המודול שומר על אחידות טמפרטורת הפלטה ב±0.1°C על פני משטח האפייה, כך שכל אתר מקבל את אותו תקציב תרמי. תא נקי בדרגת Class 1–100 מגיע מהתא המנוהל על ידי חלקיקים וחומרים בעלי פליטת גזים נמוכה. אפס ייצור של חלקיקים אינו סלוגן - הוא נאכף על ידי עיצוב זרימת האוויר וגימור פני השטח שעומד בסטנדרטים של זיהום חומרים חצי-מוליכים. חזרתיות ננעלת עם פיירומטריה במעגל סגור ובקרת מתכונים ששומרת על עלייה, ספיגה וקירור עם יציבות של פחות משנייה.
הנה העניין: בניקוי ובייבוש הפלטות, האינפרא אדום מחמם מהר ואחיד, מקצר את מחזור החום ללא עיכובים או אזורי חום.
לאפייה רכה, זה אומר שהמסיס יוצא מהפוטורסיסט במהירות ובאחידות, כך שההדבקות משתפרת והווריאציה של טיפות השוליים יורדת. במהלך האפייה הקשה, זה מתקן את התמונה מבלי להחמם את השכבות שמתחת, כך שהחפיפה נשמרת הדוקה.
התגמול הוא פחות תיקונים, הפצת CD הדוקה יותר, ותשואה שניתן לסמוך עליה. השימוש באנרגיה יורד כי האינפרא אדום מחמם את היעד, ולא את הציוד שסביבו. האמינות נמדדת בעבודת 24/7 עם חלונות תחזוקה מתוכננים, ולא בתקלות בלתי צפויות.
המודול מתמקד במסילות הציפוי/אפייה הקיימות, אך הסבירות לאליינמנט היא גבוהה - מיקום תת-מילימטרי נדרש כדי לשמור על האחידות. תכננו עבור כוח וקירור בדירוג תא נקי; המפיץ פועל בטמפרטורות גבוהות, וניהול תרמי משפיע ישירות על יציבות הנקודת הגדר.
העברת המתכון היא פשוטה, אך כל שכבת פוטורסיסט מתנהגת אחרת. ודאו את פרופילי האפייה על פלטות מוצר קודם, ואז נעלו את הפרמטרים במערכת הבקרה כך שהביצוע יישאר עקבי.