ייצור סרט תרמי לטמפרטורות גבוהות

בקווי הליתוגרפיה, תהליך החימום של הפוטורזיסט אינו נחשב לשלב של “חימום התחלתי”. למעשה, זהו שלב תרמי שאחראי על שליטה בעובי הקווים שנוצרים על הוואפר....