http://ir-heat-zone.com/he/tags/bake/ Recent content in Bake on Infrared Heating Zone Solutions Hugo he Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/he/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/he/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="מנורת אפייה לחומרי פוטורזיסט בעלי אחידות"></p> <p>בשלב זה, מתקבעת פרופיל הפוטורזיסט במהלך החימום הראשון. שינוי של 5°C בטמפרטורה על פני הוופר עלול לגרום לשינוי ב-CD, לפגיעה באיכות החיבורים בין השכבות השונות, ולבזבוז של זמן וחומרים יקרים. אנו פיתחנו מנורות חימום שמבטיחות אחידות בטמפרטורה, כדי לוודא שלא יהיו שינויים לא רצויים.</p> <p><strong>מה חשוב מבחינה טכנית?</strong> אנו משתמשים במנורות הלוגן בעלות גל ארוך, המותקנות בתוך חלל מחזיר אור, כך שניתן לשמור על אחידות של ±0.1°C בטמפרטורה על פני הוופר. שימוש בטכנולוגיית פיורומטריה מאפשר שליטה מדויקת בטמפרטורה, וכך ניתן לשמור על טמפרטורות קבועות במהלך תהליך החימום. ראש המנורה מתאים לחדרי עבודה נקיים מסוג Class 1–100, והוא עשוי מחומרים שאינם פולטים גזים, ואינם יוצרים חלקיקים במהלך השימוש. הבידוד בדמות סיבי פחמן מונע אגירת חום, ומאפשר יציבות טמפרטורה מהירה. ניתן לצפות לעבודה של 5,000 שעות ברצף, עם ירידה של פחות מ-5% בביצועים.</p>