जब आप केमिकल सफाई के बाद MEMS सेंसर वेफरों को सुखाते हैं, तो आपको ऊष्मा की आवश्यकता होती है… और वह भी जल्दी ही। लेकिन समस्या यह है कि ज्वलनशील रसायनों की उपस्थिति में ऐसा करना वास्तव में खतरनाक है… यह कोई रूपक नहीं है, बल्कि वास्तविक खतरा है।
इसीलिए हम विशेष इन्फ्रारेड लैंपों का उपयोग करते हैं… ऐसे लैंपों के उपयोग से कार्यस्थल पर कोई खतरा नहीं पैदा होता।
चीजों को सुरक्षित रखना
सामान्य इन्फ्रारेड लैंप खुले होते हैं… ऐसी स्थिति में, जब कमरे में ज्वलनशील रसायनों की वाष्पें होती हैं, तो यह बहुत ही खतरनाक है… एक ही चिंगारी या अत्यधिक गर्मी से ही विनाश हो सकता है।
इसे रोकने हेतु, हम लैंपों को मजबूत क्वार्ट्ज या स्टेनलेस स्टील के कवरों में रखते हैं… यह एक तरह की भौतिक सुरक्षा व्यवस्था है। हम उच्च तापमान वाले गैस्केटों एवं हीरमेटिक सीलों का उपयोग करते हैं, ताकि धुएँ इलेक्ट्रॉनिक उपकरणों तक न पहुँचें, एवं गर्मी भी बाहर न निकले।
सही तापमान बनाए रखना
आप इन वेफरों पर बस ऊष्मा ही नहीं डाल सकते… ऐसा करने से वेफर विकृत हो जाएँगे। हम वॉटेज एवं लंबाई के अनुपात को सावधानी से संतुलित करते हैं, ताकि सब कुछ स्थिर रहे। शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड का उपयोग करने से ऊष्मा सीधे वेफर की सतह पर पहुँच जाती है… यह तेज एवं कुशल तरीका है… इससे वेफरों को खतरनाक स्थितियों में रहने का समय कम हो जाता है।
लेकिन आप बस “सेट करके भूल जाने” वाले नहीं हैं… आपको तेज-कार्यक्षमता वाले PID कंट्रोलर की आवश्यकता है… यदि हवा का प्रवाह कम हो जाए, या कन्वेयर रुक जाए, तो उन लैंपों को तुरंत बंद करना होगा… वरना वेफर नष्ट हो जाएँगे… या फिर लैंप ही नष्ट हो जाएँगे।
डिज़ाइन की वास्तविकता
कुछ भी परफेक्ट नहीं है… वह सुरक्षात्मक कवर तो अच्छा है, लेकिन इससे थर्मल मास भी बढ़ जाता है… इसका मतलब है कि आपको अपनी प्रक्रिया में थोड़ा अधिक समय लगेगा… आपको इस देरी को अपनी प्रक्रिया में ध्यान में रखना होगा।
एक और सलाह: अपने केबलों की सुरक्षा पर ध्यान दें… कुछ इन्फ्रारेड पावर सप्लाई में उच्च-आवृत्ति वाले स्विचिंग तंत्र होते हैं, जिससे शोर MEMS सेंसिंग उपकरणों में पहुँच सकता है… इसलिए उचित ग्राउंडिंग आवश्यक है।