http://ir-heat-zone.com/hi/tags/%E0%A4%8F%E0%A4%95%E0%A4%B0%E0%A5%82%E0%A4%AA%E0%A4%A4%E0%A4%BE/ Recent content in एकरूपता on Infrared Heating Zone Solutions Hugo hi Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/hi/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/hi/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="यूनिफॉर्मिटी फोटोरेसिस्ट बेक लैंप"></p> <p>पहले चरण में ही फोटोरेजिस्ट का प्रोफाइल निर्धारित किया जाता है। वेफर के तापमान में 5°C का अंतर, CD मानों को बिगाड़ देता है, ऑवरले प्रक्रिया को नष्ट कर देता है, एवं महंगी पुनर्प्रक्रियाओं की आवश्यकता पैदा करता है। ऐसी अनिश्चितताओं को दूर करने हेतु हमने एक ऐसा उपकरण विकसित किया है।</p> <p><strong>तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें</strong><br> हम ±0.1°C की सटीकता हेतु रिफ्लेक्टर केविटी में शॉर्ट-वेव हैलोजन लैंपों का उपयोग करते हैं। इंटीग्रेटेड पायरोमेट्री की मदद से कुछ ही मिलीसेकंड में तापमान नियंत्रित किया जा सकता है। लैंप हेड, क्लास 1–100 क्लीनरूम मानकों के अनुरूप है; इसमें कम गैस उत्सर्जन होता है, एवं इसकी सतह पर कोई कण भी नहीं बनता। कार्बन-फाइबर इन्सुलेशन के कारण तापमान तेजी से स्थिर रहता है, जबकि क्वार्ट्ज आवरण बार-बार होने वाले तापीय चक्रों को सहन कर सकता है। इस उपकरण का उपयोग 5,000+ घंटों तक किया जा सकता है, एवं इसकी कार्यक्षमता में 5% से भी कम की गिरावट होती है।</p>