http://ir-heat-zone.com/hi/tags/%E0%A4%AB%E0%A5%8B%E0%A4%9F%E0%A5%8B%E0%A4%B0%E0%A5%87%E0%A4%9C%E0%A4%BF%E0%A4%B8%E0%A5%8D%E0%A4%9F/ Recent content in फोटोरेजिस्ट on Infrared Heating Zone Solutions Hugo hi Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/hi/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/hi/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="यूनिफॉर्मिटी फोटोरेसिस्ट बेक लैंप"></p> <p>पहले चरण में ही फोटोरेजिस्ट का प्रोफाइल निर्धारित किया जाता है। वेफर के तापमान में 5°C का अंतर, CD मानों को बिगाड़ देता है, ऑवरले प्रक्रिया को नष्ट कर देता है, एवं महंगी पुनर्प्रक्रियाओं की आवश्यकता पैदा करता है। ऐसी अनिश्चितताओं को दूर करने हेतु हमने एक ऐसा उपकरण विकसित किया है।</p> <p><strong>तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें</strong><br> हम ±0.1°C की सटीकता हेतु रिफ्लेक्टर केविटी में शॉर्ट-वेव हैलोजन लैंपों का उपयोग करते हैं। इंटीग्रेटेड पायरोमेट्री की मदद से कुछ ही मिलीसेकंड में तापमान नियंत्रित किया जा सकता है। लैंप हेड, क्लास 1–100 क्लीनरूम मानकों के अनुरूप है; इसमें कम गैस उत्सर्जन होता है, एवं इसकी सतह पर कोई कण भी नहीं बनता। कार्बन-फाइबर इन्सुलेशन के कारण तापमान तेजी से स्थिर रहता है, जबकि क्वार्ट्ज आवरण बार-बार होने वाले तापीय चक्रों को सहन कर सकता है। इस उपकरण का उपयोग 5,000+ घंटों तक किया जा सकता है, एवं इसकी कार्यक्षमता में 5% से भी कम की गिरावट होती है।</p> http://ir-heat-zone.com/hi/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ Wed, 24 Jun 2026 04:03:53 +0800 http://ir-heat-zone.com/hi/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="सटीक तापमान वाला फोटोरेजिस्ट हीटर"></p> <p>लिथोग्राफी प्रक्रिया में, बेकिंग तापमान में 0.5°C का अंतर ही पूरे उत्पादन सेट को नष्ट करने के लिए पर्याप्त है। वेफरों पर मौजूद फोटोरेसिस्ट के लिए तापमान नियंत्रण बहुत ही महत्वपूर्ण है; यदि इसे ठीक से नियंत्रित न किया जाए, तो लाइन-विड्थ नियंत्रण खराब हो जाता है। हमने ऐसा प्रीसिजन टेम्परेचर फोटोरेसिस्ट हीटर विकसित किया है, ताकि तापमान नियंत्रण हर बार सही रहे।</p> <p><strong>महत्वपूर्ण बातें:</strong><br> यह हीटर शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड तरंगों का उपयोग करके सीधे ही ऊष्मा प्रदान करता है; इससे तापीय विलंब कम रहता है। वेफर पर तापमान स्थिर रहता है – ±0.1°C के भीतर, और बार-बार प्रक्रिया करने पर भी यह स्थिरता ±0.05°C के भीतर ही रहती है। तापमान में परिवर्तन 2°C/सेकंड की दर से होता है, और ओवरशूट 0.2°C से कम ही रहता है। इससे “सॉफ्ट बेक” एवं “हार्ड बेक” प्रक्रियाएँ ठीक तरह से ही होती हैं। क्लीनरूम क्लास 1–100 के अनुरूप होने हेतु, कम गैस उत्सर्जन वाली सामग्रियों का उपयोग किया गया है; इससे बेकिंग प्रक्रिया में कोई दोष नहीं पैदा होता। यह हीटर 24/7 काम करता है, एवं इसकी उम्र 5,000+ घंटों तक है; इस दौरान इसकी कार्यक्षमता में 5% से भी कम कमी आती है।</p>