
Ketika Anda mengeringkan wafer sensor MEMS setelah proses pembersihan menggunakan bahan kimia, Anda membutuhkan panas—dan panas tersebut harus diberikan dengan cepat. Namun, masalahnya adalah: melakukan hal ini di sekitar zat-zat pelarut yang mudah terbakar sama saja dengan bermain-main dengan api. Bukan secara kiasan, melainkan benar-benar berisiko meledak.
Itulah mengapa kita menggunakan lampu inframerah khusus. Lampu ini mampu menjalankan fungsinya tanpa membuat area kerja menjadi zona berbahaya.
Mengamankan kondisi lingkungan
Lampu inframerah biasa memiliki struktur yang terbuka. Di ruangan yang penuh dengan uap kimia yang mudah terbakar, hal ini tentu sangat berbahaya. Satu percikan api atau komponen yang overheat saja sudah cukup untuk menimbulkan bencana.
Untuk mencegah hal tersebut, kita memasukkan lampu tersebut ke dalam kotak pelindung dari kuarsa atau baja tahan karat. Ini berfungsi sebagai perisai fisik. Kita juga menggunakan seal yang bagus agar tidak ada uap kimia yang masuk ke dalam perangkat elektronik, dan agar panas tidak keluar sehingga tidak menimbulkan titik panas yang berbahaya. Semua ini dilakukan demi keselamatan.
Mengatur suhu dengan tepat
Anda tidak boleh memberikan panas secara berlebihan pada wafer tersebut, karena hal tersebut akan menyebabkan wafer menjadi rusak. Kita perlu menyeimbangkan rasio daya dan panjang wafer agar semuanya tetap stabil. Dengan menggunakan gelombang inframerah pendek, panas dapat menembus lapisan cairan di permukaan wafer dengan cepat. Cara ini efisien, sehingga wafer tidak perlu berada dalam zona berbahaya terlalu lama.
Namun, Anda tidak bisa sekadar mengatur suhu dan lalu melupakan hal tersebut. Anda membutuhkan kontroler PID yang responsif. Jika aliran udara menurun atau konveyor macet, lampu tersebut perlu segera dimatikan. Jika tidak, wafer akan rusak, atau bahkan kotak pelindungnya akan terbakar.
Kenyataan desainnya
Tidak ada yang sempurna. Kotak pelindung tersebut memang bagus untuk keamanan, tetapi juga menambah beban termal. Apa artinya ini bagi Anda? Waktu yang dibutuhkan untuk proses pengeringan akan sedikit lebih lama dibandingkan jika menggunakan lampu yang strukturnya terbuka. Anda perlu memperhitungkan waktu tambahan tersebut dalam proses produksi.
Tips terakhir: perhatikan juga perlindungan kabelnya. Beberapa sumber daya inframerah menggunakan teknologi switching berfrekuensi tinggi, yang dapat menyebabkan gangguan pada perangkat sensor MEMS. Penggunaan grounding yang baik sangat penting dalam hal ini.