Berhentilah menunggu proses pemanasan menggunakan oven konvensional: Alasan untuk menggunakan sistem pemanas IR tanpa ozon
Jika Anda masih menggunakan metode konveksi udara untuk proses pembuatan semikonduktor, berarti Anda menghabiskan setengah hari Anda hanya untuk menunggu. Bayangkan bagaimana cara kerjanya: Anda memanaskan udara terlebih dahulu, lalu menunggu hingga udara tersebut dapat memanaskan permukaan bahan yang akan diproses. Proses ini sangat lambat, dengan banyak waktu tunggu setiap kali proses pemanasan atau pendinginan berlangsung.
Lampu IR mengubah pola kerja ini. Lampu ini tidak memerlukan perantara apa pun. Alih-alih memanaskan ruangan secara keseluruhan, lampu ini mengirimkan radiasi elektromagnetik langsung ke target yang ingin dipanaskan. Prosesnya sangat cepat. Waktu yang diperlukan untuk proses pemanasan berkurang dari menit menjadi detik saja. Dengan demikian, lebih banyak wafer yang dapat diproses dalam satu sesi, dan alur kerja pun menjadi lebih lancar.
Namun, ada kelemahan pada lampu gelombang pendek biasa. Lampu ini sering menghasilkan radiasi sekitar 185 nm, yang dapat merusak molekul oksigen dan menciptakan ozon. Di ruang bersih, ozon merupakan masalah besar; ozon dapat merusak permukaan benda-benda sensitif.
Di sinilah perlunya lampu tanpa ozon. Dengan menggunakan filamen yang telah dimodifikasi atau filter kuarsa khusus, kita dapat menghindari radiasi berbahaya tersebut. Anda tetap mendapatkan panas yang diperlukan, tanpa efek samping kimia. Selain itu, Anda juga tidak perlu mengeluarkan biaya besar untuk sistem pembersih udara agar udara tetap layak dihirup.
Sejujurnya, IR bukanlah “ tombol ajaib”. Karena sifatnya yang direktif, radiasi IR tidak bisa menyebar ke seluruh permukaan benda seperti halnya udara. Jika bentuk benda yang diproses tidak sempurna, maka akan muncul titik-titik dingin di permukaannya. Anda tidak bisa sembarangan memasang lampu ini ke dalam kotak konveksi lama. Anda perlu menyesuaikan posisi lampu dan reflektor dengan tepat. Jika fokusnya salah, proses pemanasan akan tidak merata.
Dengan demikian, ruang yang dibutuhkan untuk sistem ini akan lebih kecil, dan kecepatan pemanasan akan jauh lebih tinggi. Namun, Anda perlu sangat teliti dalam menentukan penempatan lampu tersebut. Jika semuanya dilakukan dengan benar, hasilnya akan maksimal.