http://ir-heat-zone.com/id/tags/cmp/ Recent content in CMP on Infrared Heating Zone Solutions Hugo id Sat, 20 Jun 2026 05:44:40 +0800 http://ir-heat-zone.com/id/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ Sat, 20 Jun 2026 05:44:40 +0800 http://ir-heat-zone.com/id/posts/post-cmp-wafer-drying-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="Pemanas pengering wafer setelah proses CMP"></p> <p>Di lantai produksi, adanya satu pun “tanda air” setelah proses CMP dapat merusak chip yang telah berhasil melewati proses pemrosesan permukaan. Pengeringan wafer setelah proses CMP bukanlah hal yang sekadar disarankan; melainkan merupakan langkah yang sangat penting.</p> <p>Jika pemanas tidak berfungsi dengan baik, maka akan terjadi ketidakteraturan suhu. Tegangan permukaan akan menyebabkan munculnya garis-garis pada permukaan wafer, dan kecacatan-kecacatan tersebut akan berdampak pada proses litografi. Kami merancang pemanas untuk proses pengeringan setelah CMP dengan memperhatikan hal-hal tersebut: tidak adanya partikel yang dihasilkan, keseragaman suhu <a href="https://o-yate.com">sebesar</a> ±0,1°C di seluruh permukaan wafer, serta kemampuan untuk mendapatkan hasil yang konsisten dari satu sesi produksi ke sesi produksi lainnya.</p>