http://ir-heat-zone.com/id/tags/keseragaman/ Recent content in Keseragaman on Infrared Heating Zone Solutions Hugo id Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/id/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/id/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="Lampu pemanas untuk fotorezist yang berfungsi menciptakan keseragaman."></p> <p>Pada tahap ini, profil lapisan fotoresist ditetapkan selama proses pemanasan pertama. Perubahan suhu sebesar 5°C pada permukaan wafer dapat menyebabkan ketidakseragaman ukuran cakram optik, merusak lapisan fotoresist yang telah diterapkan, dan membuang-buang biaya untuk proses perbaikan yang mahal. Kami menggunakan lampu pemanas khusus agar tercipta keseragaman suhu yang tinggi.</p> <p><strong>Hal-Hal yang Penting Secara Teknis</strong><br> Kami menggunakan lampu halogen berfrekuensi rendah dalam rongga reflektor yang dirancang untuk mencapai keseragaman suhu hingga ±0,1°C pada permukaan wafer. Sistem pengukuran suhu yang canggih memungkinkan kontrol suhu yang akurat dalam waktu singkat. Bagian kepala lampu dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dengan bahan-bahan yang meminimalkan emisi gas dan tidak menghasilkan partikel sama sekali. Insulasi berbahan serat karbon membantu menjaga suhu tetap stabil, sementara lapisan kuarsa mampu bertahan dari siklus pemanasan yang berulang-ulang. Diharapkan lampu ini dapat beroperasi selama lebih dari 5.000 jam dengan penurunan kinerja kurang dari 5%.</p>