http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E3%81%95%E3%81%84%E3%81%AE%E7%9B%AE%E5%88%87%E3%82%8A/ Recent content in さいの目切り on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 03:58:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/laser-wafer-dicing-support-heater/ Sat, 06 Jun 2026 03:58:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/laser-wafer-dicing-support-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="レーザーウェーハダイシングサポートヒーター"></p> <p>ファブフロアにおけるレーザーダイシングは、熱管理の厳格さにかかっている。これが不十分だとマイクロクラックが発生し、カーフテーパーが崩れ、ダイシング後の欠陥によってリソグラフィーやエッチングを問題なく通過したウェーハが不良となる。対策は一時的な応急処置ではなく、ダイシング工程の必要箇所に設置されたサポートヒーターである。</p>