http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E3%82%A6%E3%82%A7%E3%83%8F%E3%83%BC/ Recent content in ウェハー on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Sat, 06 Jun 2026 03:58:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/laser-wafer-dicing-support-heater/ Sat, 06 Jun 2026 03:58:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/laser-wafer-dicing-support-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="レーザーウェーハダイシングサポートヒーター"></p> <p>ファブフロアにおけるレーザーダイシングは、熱管理の厳格さにかかっている。これが不十分だとマイクロクラックが発生し、カーフテーパーが崩れ、ダイシング後の欠陥によってリソグラフィーやエッチングを問題なく通過したウェーハが不良となる。対策は一時的な応急処置ではなく、ダイシング工程の必要箇所に設置されたサポートヒーターである。</p> http://ir-heat-zone.com/ja/posts/wafer-drying-infrared-heater/ Sun, 31 May 2026 04:45:43 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/wafer-drying-infrared-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ウェーハ乾燥用赤外線ヒーター"></p> <p>ウェーハは最終すすぎから出され、時計が動き始める。放置時間が長すぎたり、乾燥時に不均一な熱プロファイルを与えたりすると、溶媒の残留物が移動し始める。フォトレジストパターンが軟化し、クリティカルディメンション（CD）制御が乱れる。その結果は後でマップ上に現れる――一見すると偶然の失敗のようだが、実際は熱の不均一性がランダム性を装っているだけである。<br> ウェーハ乾燥は単なるチェックボックスの作業ではない。これは熱プロセスであり、限られた熱予算の中で動作している。使用する赤外線ヒーターが歩留まりの境界条件を設定する。</p>