なぜ、鉛フリー半導体の製造に赤外線を採用するのか？ 半導体業界では、「グリーン」であり、鉛を含まない製品への移行が強く求められています。これは正しい方向性ですが、そのためには熱の扱い方を変える必要があります。 長年にわたり、多くの場合、対流式のオーブンが使われてきました。しかし、問題は、わずかなウ...

ウェハ乾燥装置におけるランプの破損対処法 正直に言って、半導体製造工場で赤外線ランプが壊れてしまうと、それは本当に厄介な問題です。単に部品を交換するだけでは解決しません。 石英管が過度な負荷によって破裂すると、破片や微粒子がウェハに飛び散ります。そうなると、製品の歩留まりは激減し、作業員は何時間も...

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法 正直に言って、高負荷の生産中にランプが壊れると、それは本当に大変なことです。単に部品を交換するだけでは済まされず、大混乱に陥ります。 石英管が破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降りかかります。これにより、そのロット全...