エネルギー on Infrared Heating Zone Solutions

省エネ型半導体ヒーター

Mon, 27 Jul 2026 09:17:36 +0800

なぜ、鉛フリー半導体の製造に赤外線を採用するのか？半導体業界では、「グリーン」であり、鉛を含まない製品への移行が強く求められています。これは正しい方向性ですが、そのためには熱の扱い方を変える必要があります。長年にわたり、多くの場合、対流式のオーブンが使われてきました。しかし、問題は、わずかなウェーハを温めるために大量の空気を加熱しなければならない点です。これはエネルギーの無駄遣いです。そこで、赤外線を利用した硬化法が用いられます。空気を加熱する代わりに、エネルギーを直接対象物に送り込むのです。 これにより、処理時間が大幅に短縮されます。 赤外線を使えば、光子が表面に当たり、瞬時に熱に変わります。つまり、処理時間を数分から数秒に短縮できるのです。大量生産を行う場合、この「熱の遅延」がなくなるため、電力代が削減され、生産効率も向上します。また、重くて溶剤を含む加熱媒体も不要になり、全体としてプロセスがよりクリーンになります。ただし、難しい点もあります。鉛フリーのはんだやコーティング剤は、温度の許容範囲が非常に狭いのです。温度が高すぎると、基板が変形してしまいます。これは大きな問題です。赤外線を使えば、波長を調整し、短波または中波を使い分けることで、材料が必要とする条件に合わせることができます。そうすれば、部品全体を焼き固めることなく、望みの表面温度を得ることができます。もちろん、これは魔法のようなものではありません。何かしらのトレードオフがあります。高強度のランプは、非常に多くの熱を放出します。速さとしては有利ですが、冷却システムに大きな負担をかけます。もし筐体がその余熱を排出できない構造だと、フィラメントが早く壊れてしまいます。したがって、どれだけ速く硬化させたいか、そして機械の筐体がどれだけの熱に耐えられるかというバランスを見つける必要があります。結局のところ、これが唯一の現実的な解決策のようです。巨大な加熱要素による二酸化炭素の排出を削減できるだけでなく、現代の工場で求められる厳格な化学的規制にも適合します。

工場乾燥工程のエネルギー診断

Tue, 21 Jul 2026 09:34:05 +0800

ウェハ乾燥装置におけるランプの破損対処法
正直に言って、半導体製造工場で赤外線ランプが壊れてしまうと、それは本当に厄介な問題です。単に部品を交換するだけでは解決しません。
石英管が過度な負荷によって破裂すると、破片や微粒子がウェハに飛び散ります。そうなると、製品の歩留まりは激減し、作業員は何時間もかけてチャンバーを清掃しなければなりません。これは誰もが避けたい状況です。

省エネ型ウェーハヒーター

Fri, 17 Jul 2026 06:29:15 +0800

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障したときにウェーハを清潔に保つ方法

正直に言って、高負荷の生産中にランプが壊れると、それは本当に大変なことです。単に部品を交換するだけでは済まされず、大混乱に陥ります。
石英管が破裂すると、ガラスの破片や化学物質がウェーハに降りかかります。これにより、そのロット全体がダメになってしまいます。そして、チャンバーをきれいにするために何時間もかけて清掃しなければなりません。私たちは、このような事態を防ぐ方法をずっと研究してきました。