クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

Wed, 29 Jul 2026 10:16:35 +0800

なぜ、空気を加熱するのをやめて、ウェーハ自体を直接加熱しないのでしょうか？ほとんどの半導体製造ラインでは、依然として強制送風式のオーブンが使われています。これは非常に時間のかかるプロセスです。まず空気を加熱し、その空気がチャンバー内を温め、ようやくウェーハが温まります。多くの待ち時間が必要です。私たちは赤外線ヒーターを好みます。なぜなら、中間段階を省けるからです。 重要なのは時間です。 強制送風式の場合、加熱に時間がかかります。一方、赤外線ヒーターは異なり、電磁波を直接基板に当てることで加熱します。部屋全体を温める代わりに、必要な部分だけを加熱します。これにより、何時間もかかっていた加熱時間が数分に短縮されます。大量生産を行う場合、焼成サイクルを20分短縮することは、単なる「便利な機能」ではありません。それは日々の生産効率にとって大きなメリットです。 クリーンルームの問題点 クリーンルームで働いたことがある人なら、空気の流れが問題になることを知っているでしょう。ファンが粉塵を舞い上げ、乱流を生じさせます。めちゃくちゃです。一方、赤外線ヒーターはその場に固定されているだけです。ファンもなく、空気の流れもなく、ウェーハに粒子が飛び散ることもありません。さらに清潔に保つために、石英製のケースを使用します。そうすれば、奇妙なガスや破片が高温度での処理を妨げる心配もありません。 欠点（もちろん、何かしらの欠点はあります） しかし、赤外線ヒーターも魔法の杖ではありません。方向性があります。もし部品に深い溝や複雑な形状がある場合、「シャドウエフェクト」という問題が発生します。つまり、光が届かない部分は加熱されないのです。単純に赤外線ランプを古い対流式オーブンに入れて済むわけではありません。正しく加熱するためには、熱分布を適切に設計する必要があります。また、高ワット数の赤外線ヒーターを使用すると、チャassisに大量のエネルギーが投入されます。冷却装置やヒートシンクを十分に用意しないと、フレームが変形したり、センサーが誤作動したりする可能性があります。赤外線ヒーターは空気よりもずっと速く目標温度に到達するため、常にPIDコントローラーや高速応答型の熱電対を使用することをお勧めします。そうすれば、温度が過剰に上昇して製品が損傷するのを防ぐことができます。

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