http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E3%83%84%E3%82%A4%E3%83%B3/ Recent content in ツイン on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Thu, 18 Jun 2026 04:15:58 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/twin-tube-infrared-heating-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:15:58 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/twin-tube-infrared-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="二重チューブ型赤外線加熱ランプ"></p> <p>リソグラフィー工程において、95℃での低温焼成時に、たとえ半度でも温度が変動するだけで、重要な寸法制御が乱れ、現像後に不良が発生し始めます。このようなばらつきを解決するためには、ツインチューブ式の赤外線ヒーターが最適です。このヒーターは、迅速かつ均一な熱をウェハーに与えることで、熱的均一性を維持し、その結果、ロットごとにフォトレジストの特性が一定に保たれます。</p>