http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E3%83%86%E3%83%BC%E3%83%97/ Recent content in テープ on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Tue, 30 Jun 2026 05:06:28 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/high-temperature-thermal-tape-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:06:28 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/high-temperature-thermal-tape-fab/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="高温用テープ製造工場"></p> <p>ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる「ウォームアップ」ではありません。これは、線幅を正確に制御するための重要な熱処理ステップです。0.5℃の温度変動だけでも、照射量が変わってしまいます。また、均一でない加熱領域では、斜めの壁面が形成され、その結果、レジストの剥離やエッチングの際に問題が生じます。私たちは、このような状況に対応するために、高温度対応のヒーターシステムを<a href="https://o-yate.com">開発</a>しました。これにより、ウェハ全体を所定の温度に保ちつつ、時間をかけて処理を行うことができ、粒子の発生やばらつきも防げます。</p>