http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E3%83%A2%E3%82%B8%E3%83%A5%E3%83%BC%E3%83%AB/ Recent content in モジュール on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/zoned-infrared-heating-module/ Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ゾーン別赤外線ヒーターモジュール"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、ウェハの温度が1℃<a href="https://o-yate.net">変動</a>するだけで、線幅がナノメートル単位で変わってしまいます。また、粒子の影響により多くの製品がダメになってしまうこともあります。そのため、熱的な状態を適切に管理するために、ゾーン別に制御可能な赤外線ヒーターモジュールが導入されているのです。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 短波長の赤外線エミッターが独立して制御可能なゾーンごとに配置されているため、ウェハの形状に合わせて温度を調整することができます。これにより、ウェハ全体の温度均一性は±0.1℃以内に保たれます。フォトレジストの焼成も再現性が高くなり、柔らかい条件や厳しい条件でも熱的なバランスが取れ、熱による寸法変化も抑えられます。このハードウェアはクラス1～100のクリーンルーム環境にも対応しており、粒子の発生を完全に防ぐように設計されています。信頼性は保証されるのではなく、実際に24時間365日稼働し、予期しない停止がないように管理されています。また、エミッターの寿命も追跡されているため、メンテナンスのタイミングも把握しやすくなっています。</p> http://ir-heat-zone.com/ja/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="感光材乾燥赤外線モジュール"></p> <p>リソグラフィフロアでは、フォトレジストのソフトベーク温度が0.5℃ずれるだけでクリティカルディメンション（CD）制御が規格外になる。ウェハの待ちが<a href="https://henruite.com">発生</a>し、スクラップ率が上昇し、ラインは温度の不均一性にコストを支払うことになる。我々は、その不確実性を排除するために、フォトレジスト乾燥用赤外線モジュールを開発した。これによりウェハの乾燥、ソフトベーク、ハードベークの温度管理を安定化させている。</p> <p><strong>内部の重要要素</strong><br> 短波赤外線をクォーツハロゲンエミッターで照射し、エネルギーを直接フォトレジスト層に供給している。モジュールはベーク面のウェハレベルの温度均一性を±0.1℃に保ち、全サイトが同一の熱負荷を受ける仕組みだ。クリーンルームClass 1～100の対応は、パーティクル制御されたチャンバー設計と低ガス発生材料によって実現している。パーティクルゼロ発生は単なるスローガンではなく、半導体汚染基準に準拠した表面仕上げとエアフロー設計によって厳格に維持されている。再現性は閉ループの放射温度計測と、レシピベースの制御により担保されており、昇温・保持・冷却の各フェーズでサブ秒安定性を実現している。</p>