http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E4%BA%92%E6%8F%9B%E6%80%A7%E3%81%82%E3%82%8A/ Recent content in 互換性あり on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Thu, 30 Jul 2026 11:34:53 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/optimizing-wafer-thermal-profiles-via-gold-coated-vacuum-infrared-reflectors/ Thu, 30 Jul 2026 11:34:53 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/optimizing-wafer-thermal-profiles-via-gold-coated-vacuum-infrared-reflectors/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/e359da41a435291bc4b653b358552252.png" alt="真空対応の赤外線ヒーター"></p> <p>真空状態でシリコンウェーハを加熱する際の問題点は、空気がないということです。空気がないと対流も起こらず、放射熱に頼るしかありません。もし通常の反射材を使用すると、その貴重なエネルギーの多くがチャンバーの壁に漏れてしまいます。これは無駄遣いです。</p>