http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E5%8A%A0%E7%86%B1/ Recent content in 加熱 on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/zoned-infrared-heating-module/ Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="ゾーン別赤外線ヒーターモジュール"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、ウェハの温度が1℃<a href="https://o-yate.net">変動</a>するだけで、線幅がナノメートル単位で変わってしまいます。また、粒子の影響により多くの製品がダメになってしまうこともあります。そのため、熱的な状態を適切に管理するために、ゾーン別に制御可能な赤外線ヒーターモジュールが導入されているのです。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 短波長の赤外線エミッターが独立して制御可能なゾーンごとに配置されているため、ウェハの形状に合わせて温度を調整することができます。これにより、ウェハ全体の温度均一性は±0.1℃以内に保たれます。フォトレジストの焼成も再現性が高くなり、柔らかい条件や厳しい条件でも熱的なバランスが取れ、熱による寸法変化も抑えられます。このハードウェアはクラス1～100のクリーンルーム環境にも対応しており、粒子の発生を完全に防ぐように設計されています。信頼性は保証されるのではなく、実際に24時間365日稼働し、予期しない停止がないように管理されています。また、エミッターの寿命も追跡されているため、メンテナンスのタイミングも把握しやすくなっています。</p> http://ir-heat-zone.com/ja/posts/twin-tube-infrared-heating-lamp/ Thu, 18 Jun 2026 04:15:58 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/twin-tube-infrared-heating-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0a976f8a438e1a813cc995e9355a4471.png" alt="二重チューブ型赤外線加熱ランプ"></p> <p>リソグラフィー工程において、95℃での低温焼成時に、たとえ半度でも温度が変動するだけで、重要な寸法制御が乱れ、現像後に不良が発生し始めます。このようなばらつきを解決するためには、ツインチューブ式の赤外線ヒーターが最適です。このヒーターは、迅速かつ均一な熱をウェハーに与えることで、熱的均一性を維持し、その結果、ロットごとにフォトレジストの特性が一定に保たれます。</p>