http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E6%B8%A9%E5%BA%A6/ Recent content in 温度 on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Mon, 27 Jul 2026 06:50:58 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/ensuring-safety-and-stability-of-ir-heating-lamps-in-volatile-chemical-cleaning-environments/ Mon, 27 Jul 2026 06:50:58 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/ensuring-safety-and-stability-of-ir-heating-lamps-in-volatile-chemical-cleaning-environments/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="ウェーハ処理装置用温度センサー"></p> <p>ウェーハ洗浄用ツールが故障しないようにするために<br> 正直に言って、IR加熱ランプを化学的な洗浄エリア内に置くのは、まるで<a href="https://henruite.com">火遊</a>びのようなものです。<a href="https://o-yate.net">可燃性</a>の溶剤が周囲にある状態では、わずかな火花や部品の漏れでも、単なる「技術的なトラブル」どころではありません。それは大災害につながります。<br> 私たちは、そうした状況に耐えられるようにランプを設計しています。そうすれば、夜通し心配する必要もありません。</p> http://ir-heat-zone.com/ja/posts/high-temperature-thermal-tape-fab/ Tue, 30 Jun 2026 05:06:28 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/high-temperature-thermal-tape-fab/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/e619a459508a95cd74ea4eae0be40cd1.png" alt="高温用テープ製造工場"></p> <p>ファブの現場では、フォトレジストのベイク処理は単なる「ウォームアップ」ではありません。これは、線幅を正確に制御するための重要な熱処理ステップです。0.5℃の温度変動だけでも、照射量が変わってしまいます。また、均一でない加熱領域では、斜めの壁面が形成され、その結果、レジストの剥離やエッチングの際に問題が生じます。私たちは、このような状況に対応するために、高温度対応のヒーターシステムを<a href="https://o-yate.com">開発</a>しました。これにより、ウェハ全体を所定の温度に保ちつつ、時間をかけて処理を行うことができ、粒子の発生やばらつきも防げます。</p> http://ir-heat-zone.com/ja/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ Wed, 24 Jun 2026 04:03:53 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/precision-temperature-photoresist-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="高精度温度制御型フォトレジスト加熱器"></p> <p>リソグラフィーの工程においては、焼成温度が0.5℃だけ変動しても、そのロット全体が廃棄処分になってしまいます。ウェーハ上のフォトレジストは、非常に厳しい温度管理が求められます。もしその条件を守れなければ、線幅の制御が崩れてしまいます。そこで、私たちは、シフトごと、サイクルごとにその条件を維持するための高精度な温度制御装置を開発しました。</p>