http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E7%84%BC%E3%81%8F/ Recent content in 焼く on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="均一性フォトレジストベイクランプ"></p> <p>この装置では、最初の<a href="https://o-yate.com">焼成工程</a>でフォトレジストのプロファイルが設定されます。ウェーハの温度が5°Cも変動すると、CDがずれたり、オーバーレイが悪化したりして、高額な再作業が必要になります。私たちは、そのような不確実性を解消するために、均一な温度でフォトレジストを焼成できる装置を開発しました。</p> <p><strong>技術的に重要な点</strong> 私たちは、±0.1°Cの精度でウェーハの温度を制御できる反射型のハロゲンランプを使用しています。組み込まれた温度センサーにより、ミリ秒単位で温度を正確に制御でき、ソフトバーンとハードバーンの温度も安定して維持されます。ランプヘッドはクラス1～100の清潔な環境で使用可能であり、ガス放出が少なく、表面に粒子が生成されません。炭素繊維製の断熱材により、熱容量が低く抑えられ、温度が迅速に安定します。また、<a href="https://o-yate.net">石英製</a>のケースにより、繰り返しの熱サイクルにも耐えられます。全出力で5,000時間以上の使用が可能で、性能の低下は5％未満です。</p>