http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E7%9B%A3%E6%9F%BB/ Recent content in 監査 on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Tue, 21 Jul 2026 09:34:05 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/energy-audit-for-fab-drying/ Tue, 21 Jul 2026 09:34:05 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/energy-audit-for-fab-drying/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/eeeb9669114c0c0a0b2bef3f902d01a9.png" alt="工場乾燥工程のエネルギー診断"></p> <p>ウェハ乾燥装置におけるランプの破損対処法<br> 正直に言って、半導体製造工場で赤外線ランプが壊れてしまうと、それは本当に厄介な問題です。単に部品を交換するだけでは解決しません。<br> 石英管が過度な負荷によって破裂すると、破片や微粒子がウェハに飛び散ります。そうなると、製品の歩留まりは激減し、作業員は何時間もかけてチャンバーを清掃しなければなりません。これは誰もが避けたい状況です。</p>