http://ir-heat-zone.com/ja/tags/%E7%B5%B1%E4%B8%80%E3%81%95%E3%82%8C%E3%81%9F/ Recent content in 統一された on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ja Tue, 02 Jun 2026 06:06:33 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Tue, 02 Jun 2026 06:06:33 +0800 http://ir-heat-zone.com/ja/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="FOUP フロントオープニングユニファイドポッド ドライヤー"></p> <h1 id="リソグラフィフロアにおける熱誤差の影響">リソグラフィフロアにおける熱誤差の影響</h1> <p>熱誤差は許容範囲が非常に狭い。FOUPの一角が湿気を保持したり、ある部分が高温で別の部分が低温になると、フォトレジストの熱予算を超過してしまう。この影響はコーター段階では見えず、後工程でライン幅のばらつきやスカミングとして現れる。そこでFOUPドライヤーを開発し、その変動要因を排除。プロセスウィンドウをウェーハ上に安定して保持できるようにした。</p>