IR on Infrared Heating Zone Solutions

IRランプ用アルミニウム反射板

Tue, 28 Jul 2026 05:07:00 +0800

空気を加熱するのをやめよう：なぜアルミニウム製の反射板が重要なのか
もし依然として熱い空気の循環に頼っているのであれば、実質的には対流に任せて待つしかありません。空気が温められ、その空気が最終的に部品に当たり、部品が温まるのです。半導体の加工においては、このような遅れは致命的です。時間が無駄になってしまいます。

赤外線エミッタ用セラミックエンドキャップ

Mon, 20 Jul 2026 11:20:03 +0800

もし、クラス100のクリーンルームを運営しているのであれば、エアフィルターだけでは不十分だということはご存知でしょう。実際の問題は、熱源です。

一般的なIRランプは、汚染の原因となります。接着剤や金属製のエンドキャップのせいで、清潔な状態が求められる時に、微粒子やガスが発生してしまいます。そこで、私たちはより優れた方法を考案しました。それは、高純度の石英管と特殊なセラミック製のエンドキャップを使用することです。

ウェーハ用高精度IRセンサー

Mon, 13 Jul 2026 14:46:34 +0800

熱の無駄遣いをやめよう：ウェーハを効率的に加熱する方法
シリコンウェーハを加熱する際の問題点は、莫大なエネルギーが必要だということです。しかし、そのエネルギーのほとんどが、本来あるべき場所以外に散逸してしまいます。
一般的なIRランプは、あらゆる方向に熱を放ちます。つまり、360度全方位に熱が放出されるわけです。その結果、プロセスチャンバーの内部が過剰に加熱されてしまいます。これはエネルギーの無駄遣いだけでなく、装置自体を巨大なラジエーターのようにしてしまいます。近くで作業する人々にとっては、安全上の大きな危険です。
解決策は簡単です：指向性のあるIRランプを使うのです。
熱を漏らす通常の石英管の代わりに、特殊な反射板や内面処理が施されたランプを使用します。これは、ホースにノズルを取り付けるようなものです。赤外線をウェーハに直接向け、ビームを絞ることで、エネルギーを正確にターゲットに届けることができます。
そうすれば、真空チャンバーの壁が熱を吸収する役割を果たさなくなります。これにより、冷却システムの負担も大幅に軽減されます。壁が冷たい状態を保てば、熱膨張によって機械的な精度が崩れる心配もありません。また、メンテナンス時にもオペレーターが外部パネルに触れても火傷する心配がありません。
そして最も良い点は、より均一な温度分布が得られることです。通常、薄膜成膜時に問題となる端部分の温度差もなくなります。
ただし、注意が必要です。
これは魔法のような手段ではありません。熱を集中させるため、ウェーハ表面の熱流束が急激に上昇します。PIDコントローラーの設定が適切でなければ、局部過熱や、さらに悪い場合は熱衝撃が発生する可能性があります。狭いビームで急激に温度を上げると、基板上にひびが入ってしまうかもしれません。
私のアドバイスは、最初の数回のテスト運転に時間をかけることです。焦点を正確に調整し、エネルギーがウェーハの中心にしっかりと当たり、端に漏れないようにしましょう。このバランスを正しく取れば、他の問題も自然と解決されます。

半導体IR用のアンダーフィル硬化

Fri, 03 Jul 2026 08:41:44 +0800

バックエンドでの問題として、アンダーフィルによる空隙やフィレットの問題は、単なる見た目上の問題ではありません。これらは、電気的な不具合や機械的な疲労、実使用時の故障など、製品の歩留まりを低下させる要因となります。もし、IRを利用したアンダーフィルの硬化処理が、すべての基板上やパッケージ内で一定の温度プロファイルを実現できない場合、処理の幅はほぼゼロになってしまいます。