http://ir-heat-zone.com/ko/tags/%EA%B5%AC%EC%97%AD%EB%B3%84%EB%A1%9C-%EB%B6%84%EB%A5%98%EB%90%A8/ Recent content in 구역별로 분류됨 on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ko Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="구역별 적외선 난방 모듈"></p> <p>리소그래피 공정에서는 웨이퍼의 온도가 1°C만 변해도 회로선의 규격이 나노미터 단위로 달라질 수 있습니다. 또한 미세한 입자들이 존재하면 많은 양의 제품이 손상될 수 있습니다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 공정 내부의 온도를 일정하게 유지할 수 있는 적외선 가열 모듈이 개발되었습니다.</p>