http://ir-heat-zone.com/ko/tags/%EA%B7%A0%EC%9D%BC%EC%84%B1/ Recent content in 균일성 on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ko Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/ko/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ Sat, 27 Jun 2026 04:47:34 +0800 http://ir-heat-zone.com/ko/posts/uniformity-photoresist-bake-lamp/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="균일성을 위한 포토레지스트 건조 램프"></p> <p>첫 번째 건조 과정에서 포토레지스트의 형상이 결정됩니다. 웨이퍼의 온도가 5°C만 변해도 CD 값이 바뀌고, 오버레이 문제가 발생하며, 비용이 많이 드는 재작업이 필요해집니다. 이러한 불확실성을 없애기 위해 우리는 균일한 온도 조절이 가능한 포토레지스트 건조용 램프를 개발했습니다.</p>