http://ir-heat-zone.com/ko/tags/%EB%AA%A8%EB%93%88/ Recent content in 모듈 on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ko Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ Mon, 29 Jun 2026 07:01:24 +0800 http://ir-heat-zone.com/ko/posts/zoned-infrared-heating-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/0ea7296bcdd661f341d1983d454c4037.png" alt="구역별 적외선 난방 모듈"></p> <p>리소그래피 공정에서는 웨이퍼의 온도가 1°C만 변해도 회로선의 규격이 나노미터 단위로 달라질 수 있습니다. 또한 미세한 입자들이 존재하면 많은 양의 제품이 손상될 수 있습니다. 이러한 문제를 해결하기 위해, 공정 내부의 온도를 일정하게 유지할 수 있는 적외선 가열 모듈이 개발되었습니다.</p> http://ir-heat-zone.com/ko/posts/photoresist-drying-infrared-module/ Sun, 07 Jun 2026 03:48:07 +0800 http://ir-heat-zone.com/ko/posts/photoresist-drying-infrared-module/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/a071a4619f1d04d8f3e2839bd3740f1c.png" alt="포토레지스트 건조 적외선 모듈"></p> <p>리소그래피 라인에서 포토레지스트 소프트 베이크 온도의 반도(0.5도) 미세한 변화만으로도 크리티컬 디멘션(CD) 제어가 규격을 벗어날 수 있다. 웨이퍼가 적체되고 불량률이 증가하며, 라인은 열적 불일치에 따른 비용을 부담하게 된다. 우리는 이러한 불확실성을 제거하기 위해 포토레지스트 건조용 적외선 모듈을 개발하여 웨이퍼 건조, 소프트 베이크, 하드 베이크 공정을 개선했다.<br> <strong>핵심 사항</strong><br> 우리는 쿼츠-할로겐 방출기를 사용하는 단파장 적외선을 적용해 에너지를 직접 포토레지스트 층에 전달한다. 모듈은 베이크 면 전체에서 ±0.1°C 이내의 웨이퍼 수준 온도 균일도를 유지하여, 모든 사이트가 동일한 열 프로필을 받도록 한다. 클린룸 Class 1–100 호환성은 입자 제어 챔버와 저발산 재료에서 비롯된다. 무입자 발생은 구호가 아니라, 공기 흐름 설계 및 반도체 오염 기준을 충족하는 표면 마감으로 엄격히 관리된다. 반복성은 폐쇄 루프 방식의 피로미터와 램프, 소킹, 쿨다운 단계를 아규먼트 없이 제어하는 레시피 기반 시스템으로 확보된다.</p>