Mencapai suhu yang tepat menggunakan lampu pemanas berbasis semikonduktor inframerah
Jika anda ingin mengurangkan jejak karbon kilang anda, menggunakan lampu pemanas berbasis inframerah merupakan pilihan yang bijak. Berbeza dengan cara pemanasan konvensional yang memanaskan keseluruhan ruangan dan membazir tenaga pada udara di sekeliling wafer, lampu inframerah akan memanaskan permukaan wafer secara langsung.
Namun, ada satu masalah: anda tidak boleh sekadar menetapkan suhu tertentu dan meninggalkannya begitu sahaja. Jika anda tidak memantau suhu dengan betul, wafer anda akan rosak. Untuk mencapai sasaran penggunaan tenaga yang efisien tanpa membuang bahan buangan yang mahal, anda memerlukan sistem termokopel yang mampu mengikuti intensiti cahaya inframerah tersebut.
Masalah kelewatan reaksi termokopel
Lampu inframerah memanaskan permukaan wafer dengan sangat cepat. Jika termokopel anda lambat untuk bertindak balas, suhu akan melebihi tahap yang ditetapkan sebelum sistem sempat menyedarinya. Ini akan merosakkan wafer tersebut. Biasanya, kita menggunakan termokopel jenis K atau N kerana ia dapat memberikan data masa nyata yang diperlukan oleh sistem kawalan PID untuk mengekalkan suhu yang stabil. Dengan cara ini, lampu hanya menggunakan tenaga yang benar-benar diperlukan. Cara ini lebih mudah, lebih efisien, dan lebih baik untuk alam sekitar.
Mencari keseimbangan yang tepat
Dalam bilik bersih, pencemaran merupakan masalah besar. Untuk mengelakkan pelepasan gas berbahaya, kita menggunakan lapisan kimia yang inert pada sensor tersebut. Selain itu, saiz probe juga perlu dipertimbangkan. Probe yang tebal mungkin tahan lasak, tetapi reaksinya lambat. Kita biasanya menggunakan kabel yang lebih tipis agar masa tindak balasnya lebih cepat. Namun, berhati-hatilah semasa memasangnya. Kabel tersebut mudah patah jika tidak berhati-hati.
Menemukan titik keseimbangan yang tepat
Meletakkan sensor dalam susunan yang sesuai dalam sistem inframerah merupakan perkara yang rumit. Jika termokopel terlalu jauh, pembacaan suhu yang diperoleh hanyalah suhu udara di sekeliling wafer. Ini tidak berguna. Namun, jika termokopel terlalu dekat, radiasi inframerah akan menjejaskan sensor secara langsung, menyebabkan pembacaan suhu yang terlalu tinggi. Anda perlu mencari keseimbangan antara kedudukan sensor dan titik fokus lampu agar pembacaan suhu yang diperoleh tepat. Ia memerlukan sedikit kesabaran dan penyesuaian, tetapi itulah satu-satunya cara untuk memastikan penjimatan tenaga tidak merosakkan kualiti wafer.